真空热处理是指用真空炉对零件进行热处理的过程。真空炉在真空状态下的加热方式为辐射加热，具有加热速度慢、自动化程度高、温度均匀性好、工艺重现性好等特点。处理后的零件具有变形小、表面状况好、使用寿命长的特点，广泛应用于小零件和关键零部件领域。特别是对变形要求严格的零件，真空炉可以解决这个热处理问题。
在国外发达国家，真空热处理的应用呈明显上升趋势。根据国际热处理与表面工程联合会的统计和预测，欧洲工业化国家的非氧化热处理达到90%，其中可控气氛处理的零件达到29%，真空处理的零件达到23%-6%。
真空热处理的发展离不开热处理设备。自从20世纪40年代美国研制出第一台真空炉以来，在随后的20年里，它进入了热处理的应用阶段。此时的真空炉多为退火炉、正火炉、油淬真空炉。真空炉在航空、航天等领域的应用，解决了表面氧化和变形问题，延长了零件的使用寿命。
真空淬火炉的发展
真空热处理炉与热处理技术的发展密切相关。真空炉可以满足普通材料从初油淬炉、气淬油冷炉到气淬炉的热处理。20世纪90年代，高压气淬真空炉的出现极大地促进了真空热处理在工具、模具等行业的应用。
国内外真空空气淬火炉的发展分为四个阶段。第一阶段是低压空冷阶段(1958~1976)。在负压空气淬火炉的基础上，可生产直径在20毫米以下的高速钢加压空气淬火炉。80年代中期，北京华翔机电技术联合公司和首都航天机械公司开始生产这种炉。第二阶段为高压风冷阶段(1977~1990)，生产一台风冷压力为0.5MPa的高压气体淬火炉，可加工大截面(有效厚度100mm以上)高速钢工件。北京机电工程学院、北京华翔公司、沈阳真空研究院、首都航天机械公司、赛普真空技术开发公司等国内高压气体淬火炉属于这一类型，在国内占一定比例；第三阶段是高流速空气冷却阶段(90年代中期)。空冷压力为0.2兆帕，气体流量为3.5立方米/秒，喷嘴流量为40米/秒，可硬化直径为50毫米的高速钢；第四阶段是增压(高压大流量)和空冷阶段(19~现在)。气淬炉压力从0.6兆帕、1兆帕、2兆帕提高到4兆帕，可满足一般合金钢热处理和淬火的需要。真空热处理工艺的发展
真空热处理工艺与真空炉的热处理和冷却特性有关。高速钢、高合金钢和一些合金工具钢的淬火冷却介质是油。油经真空加热直接淬火后，工件表面会出现一层白色，其组织为残余奥氏体，回火(560)无法消除。实践证明，在700以上甚至800左右都可以消除。因此，在负压真空炉中处理的高合金钢工件一般在进油前进行预冷，为了避免这类问题，高压真空淬火是最合理的热处理工艺
