所以真空热处理炉的一个关键问题，就是要有可靠的真空密封构造。为了保证真空炉的真空性能，真空热处理炉结构设计中必须道循一个基本原则，就是炉体要采用气密焊接，同时在炉体上尽量少开或者不开孔，少采用或者避免采用动密封结构，以尽量减少真空泄露的机遇。安装在真空炉体上的部件、附件等如水冷电极、热电偶导出装置也都必须设计密封构造。
蒸汽压低大部分加热与隔热材料只能在真空状态下使用：真空热处理炉的加热与隔热衬料是真空与高温下工作的因而对这些材料提出了耐高温。辐射成果好，导热系数小等要求。对抗氧化性能恳求不高。所以，真空热处理炉广泛采用了钽、钨、钼和石墨等作加热与隔热构料。这些资料在大气状态下极易氧化，因此，通例热处理炉不能采用这些加热与隔热材料。水冷装置，真空热处理炉的炉壳、炉盖、电热元件导别处置(水冷电极)中间真空隔热门等部件，均在真空、受热状态下工作。这种极为不利的条件下工作，必须保证各部件的结构不变形、不损坏，真空密封圈不过热、不烧毁。因此，各部件应该根据不同的情况设置水冷装置，以保证真空热处理炉能够正常运行并有足够的利用寿命。
采用低电压大电流：真空容器内，当真空空度为几托一lxlo-1托的范围内时，真空容器内的通电导体在较高的电压下，会产生辉光放电现象。真空热处理炉内，严重的会产生弧光放电，烧毁电热元件、隔热层等，造成重大事故和损失。因此，真空热处理炉的电热元件的工作电压，一般都不超过80一100伏。同时在电热元件结构设计时要采取有效办法，如尽量避免有尖端的部件，电极间的间距不能太小窄，以防止辉光放电或者弧光放电的产生。
